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用于沉積納米級(jí)薄膜,、納米粉末包覆,、長深孔樣品鍍膜;具有Thermal-ALD,、PEALD,、Particle-ALD和生產(chǎn)型ALD;具備近100種膜層工藝,。應(yīng)用領(lǐng)...
Laser MBELaser MBE特點(diǎn)模塊化概念,,Laser MBE可以輕松升級(jí)到傳輸模塊或其他模塊UHV PLD主腔室,、利用Load-lock實(shí)現(xiàn)襯底和靶材...
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